説明
リン化インジウムInP,CAS No.22398-80-7、融点1600°C、III-Vファミリーの二元化合物半導体、ほとんどのIII-V半導体と同一の面心立方「亜鉛ブレンド」結晶構造は、 6N 7N高純度のインジウムおよびリン元素であり、LECまたはVGF技術によって単結晶に成長します。リン化インジウム結晶は、n型、p型、または半絶縁性の導電性になるようにドープされており、最大6インチ(150 mm)の直径のウェーハをさらに製造できます。これは、直接バンドギャップ、電子と正孔の優れた高い移動度、および効率的な熱を特徴としています。導電率。Western Minmetals(SC)Corporationのリン化インジウムInPウェーハプライムまたはテストグレードは、直径2 "3" 4 "および6"(最大150mm)のサイズのp型、n型、および半絶縁性の導電性で提供できます。配向<111>または<100>、厚さ350-625um、エッチングおよび研磨またはエピレディプロセスの表面仕上げ。一方、リン化インジウム単結晶インゴット2-6インチはご要望に応じてご利用いただけます。D(60-75)x長さ(180-400)mmのサイズの多結晶リン化インジウムInPまたは多結晶InPインゴット、キャリア濃度が6E15または6E15-3E16未満の2.5-6.0kgも利用できます。完璧なソリューションを実現するために、リクエストに応じてカスタマイズされた仕様を利用できます。
アプリケーション
リン化インジウムInPウェーハは、光電子部品、高出力および高周波電子デバイスの製造に、エピタキシャルインジウムガリウムヒ素(InGaAs)ベースの光電子デバイスの基板として広く使用されています。Indium Phosphideは、光ファイバー通信、マイクロ波電源デバイス、マイクロ波増幅器とゲートFETデバイス、高速変調器と光検出器、衛星ナビゲーションなどで非常に有望な光源の製造にも携わっています。
技術仕様
リン化インジウム単結晶Western Minmetals(SC)Corporationのウェーハ(InP結晶インゴットまたはウェーハ)は、直径2 "3" 4 "および6"(最大150mm)のサイズのp型、n型、および半絶縁性の導電性で提供できます。配向<111>または<100>、厚さ350-625um、エッチングおよび研磨またはエピレディプロセスの表面仕上げ。
リン化インジウム 多結晶または、D(60-75)x L(180-400)mmのサイズで2.5-6.0kgのマルチクリスタルインゴット(InPポリインゴット)を使用でき、キャリア濃度は6E15または6E15-3E16未満です。完璧なソリューションを実現するために、リクエストに応じてカスタマイズされた仕様を利用できます。
いいえ。 | アイテム | 標準仕様 | ||
1 | リン化インジウム単結晶 | 2" | 3" | 4" |
2 | 直径mm | 50.8±0.5 | 76.2±0.5 | 100±0.5 |
3 | 成長方法 | VGF | VGF | VGF |
4 | 導電率 | P / Znドープ、N /(Sドープまたは非ドープ)、半絶縁性 | ||
5 | オリエンテーション | (100)±0.5°、(111)±0.5° | ||
6 | 厚さμm | 350±25 | 600±25 | 600±25 |
7 | オリエンテーションフラットmm | 16±2 | 22±1 | 32.5±1 |
8 | 識別フラットmm | 8±1 | 11±1 | 18±1 |
9 | モビリティcm2/Vs | 50-70、> 2000、(1.5-4)E3 | ||
10 | キャリア濃度cm-3 | (0.6-6)E18、≤3E16 | ||
11 | TTVμmmax | 10 | 10 | 10 |
12 | ボウμmmax | 10 | 10 | 10 |
13 | ワープμmmax | 15 | 15 | 15 |
14 | 転位密度cm-2max | 500 | 1000 | 2000 |
15 | 表面仕上げ | P / E、P / P | P / E、P / P | P / E、P / P |
16 | 梱包 | アルミニウム複合バッグに密封された単一ウェーハ容器。 |
いいえ。 | アイテム | 標準仕様 |
1 | リン化インジウムインゴット | 多結晶または多結晶インゴット |
2 | 結晶サイズ | D(60-75)x L(180-400)mm |
3 | クリスタルインゴットあたりの重量 | 2.5〜6.0Kg |
4 | 可動性 | ≥3500cm2/ VS |
5 | キャリア濃度 | ≤6E15、または6E15-3E16 cm-3 |
6 | 梱包 | 各InPクリスタルインゴットは密封されたビニール袋に入っており、1つのカートンボックスに2〜3個のインゴットが入っています。 |
一次方程式 | InP |
分子量 | 145.79 |
結晶構造 | 閃亜鉛鉱 |
外観 | 結晶性 |
融点 | 1062°C |
沸点 | 該当なし |
300Kでの密度 | 4.81 g / cm3 |
エネルギーギャップ | 1.344 eV |
固有の抵抗率 | 8.6E7Ω-cm |
CAS番号 | 22398-80-7 |
EC番号 | 244-959-5 |
調達のヒント
リン化インジウムInP