説明
インジウムヒ素InAs結晶は、少なくとも6N 7Nの純粋なインジウムおよびヒ化元素によって合成され、VGFまたは液体カプセル化Czochralski(LEC)プロセスによって単結晶を成長させた、III-V族の複合半導体であり、灰色の外観、亜鉛ブレンド構造の立方晶です。 、942°Cの融点。インジウムヒ化物のバンドギャップはガリウムヒ化物と同じ直接遷移であり、禁止バンド幅は0.45eV(300K)です。InAs結晶は、電気的パラメータの均一性が高く、格子が一定で、電子移動度が高く、欠陥密度が低くなっています。VGFまたはLECによって成長した円筒形のInAs結晶は、MBEまたはMOCVDエピタキシャル成長のために、スライスしてウェーハアズカット、エッチング、研磨、またはエピレディに加工することができます。
アプリケーション
ヒ化インジウム結晶ウェーハは、ホールデバイスと磁場センサーを作成するための優れた基板であり、ホールの移動性は最高ですが、エネルギーバンドギャップが狭く、高出力アプリケーションで使用される波長範囲1〜3.8 µmの赤外線検出器の構築に理想的な材料です。室温、および中波長赤外線超格子レーザーで、中赤外線LEDデバイスは2〜14μmの波長範囲で製造されます。さらに、InAsは、不均一なInGaAs、InAsSb、InAsPSb&InNAsSb、またはAlGaSb超格子構造などをさらにサポートするための理想的な基板です。
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技術仕様
いいえ。 | アイテム | 標準仕様 | ||
1 | サイズ | 2" | 3" | 4" |
2 | 直径mm | 50.5±0.5 | 76.2±0.5 | 100±0.5 |
3 | 成長方法 | LEC | LEC | LEC |
4 | 導電率 | P型/Znドープ、N型/ Sドープ、Unドープ | ||
5 | オリエンテーション | (100)±0.5°、(111)±0.5° | ||
6 | 厚さμm | 500±25 | 600±25 | 800±25 |
7 | オリエンテーションフラットmm | 16±2 | 22±2 | 32±2 |
8 | 識別フラットmm | 8±1 | 11±1 | 18±1 |
9 | モビリティcm2/Vs | 60〜300、2000以上、または必要に応じて | ||
10 | キャリア濃度cm-3 | (3-80)E17または≤5E16 | ||
11 | TTVμmmax | 10 | 10 | 10 |
12 | ボウμmmax | 10 | 10 | 10 |
13 | ワープμmmax | 15 | 15 | 15 |
14 | 転位密度cm-2max | 1000 | 2000 | 5000 |
15 | 表面仕上げ | P / E、P / P | P / E、P / P | P / E、P / P |
16 | 梱包 | アルミバッグに密封されたシングルウェーハコンテナ。 |
一次方程式 | InAs |
分子量 | 189.74 |
結晶構造 | 閃亜鉛鉱 |
外観 | 灰色の結晶性固体 |
融点 | (936-942)°C |
沸点 | 該当なし |
300Kでの密度 | 5.67 g / cm3 |
エネルギーギャップ | 0.354 eV |
固有の抵抗率 | 0.16Ω-cm |
CAS番号 | 1303-11-3 |
EC番号 | 215-115-3 |
調達のヒント
インジウムヒ素ウェーハ